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本发明抑制差压计的S/N比的降低。本发明的差压计具备基台(101)、配置在基台(101)的上表面的第一部件(102)、配置在第一部件(102)上的第二部件(103)、以及配置在第一部件(101)与第二部件(103)之间的膜片层(104)。在...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

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