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一种基于双二维位置敏感探测器的高精度姿态测量系统技术方案
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文档序号:29129876
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本发明提供了一种基于双二维位置敏感探测器的高精度姿态测量系统,该高精度姿态测量系统结合位置敏感探测器实现被测物的姿态测量,与常用视觉测量方法相比,因为PSD位置敏感探测器体积小、响应快、精度高、无死区等优点,使本发明提供的高精度姿态测量系统...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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