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本申请公开了一种硅芯制备方法和硅芯制备设备,硅芯制备方法包括以下步骤:A)将硅芯原料棒和籽晶安装在硅芯炉腔内,关闭所述硅芯炉腔;B)对所述硅芯炉腔进行持续地抽真空,使得所述硅芯炉腔内的压强小于标准大气压;和C)加热所述硅芯原料棒产生熔区,利...该专利属于中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司授权不得商用。