下载硅芯制备方法和硅芯制备设备的技术资料

文档序号:29126920

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种硅芯制备方法和硅芯制备设备,硅芯制备方法包括以下步骤:A)将硅芯原料棒和籽晶安装在硅芯炉腔内,关闭所述硅芯炉腔;B)对所述硅芯炉腔进行持续地抽真空,使得所述硅芯炉腔内的压强小于标准大气压;和C)加热所述硅芯原料棒产生熔区,利...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。