下载一种半导体单晶硅的拉晶炉的技术资料

文档序号:29126910

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本发明涉及一种半导体单晶硅的拉晶炉,属于单晶硅生产技术领域。包括炉体、设置在炉体内的坩埚和加热器,炉体内设有梯度测温装置,炉体的底部设有温度测试仪;加热器设置在坩埚的外围,包括间隔一定距离上下布置的上加热器和下加热器,上加热器和下加热器的发...
该专利属于姜益群所有,仅供学习研究参考,未经过姜益群授权不得商用。

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