下载一种电解镀铜的铜处理装置及方法的技术资料

文档序号:29126701

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本发明公开了一种电解镀铜的铜处理装置及方法,该铜处理装置用于对待进行电镀的铜面面板进行预处理,所述铜面面板为经过干膜处理和显影处理的铜面面板,所述铜处理装置包括盛有硫酸的硫酸池,所述硫酸池中设置有用于产生臭氧的紫外线发光源,所述硫酸池中的硫...
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