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本发明公开了一种实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，包括舱体和溅射靶，溅射靶设于舱体内；舱体外还设有：门框、舱门和锁紧装置，舱体上设有开口，门框安装于开口上，舱门与门框相配合实现对舱体的关闭与打开；溅射靶朝向舱门的方向设置；锁紧装置作用于舱门，将...
该专利属于深圳市三束镀膜技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市三束镀膜技术有限公司授权不得商用。

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