下载为测量系统确定队列匹配问题和根本原因要点的技术资料

文档序号:2912603

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公开了用于确定正在测试的测量系统(MSUT)是否匹配包括至少一个其它测量系统的队列的方法、系统和程序产品。本发明实现了用于分析匹配问题的真实参数,包括单工具精度、工具对工具非线性、以及工具对工具偏差。然后,实现将这些参数组合为单值的底线工具...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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