下载芯片结构、芯片组件、成膜方法、纳米孔测序装置及应用的技术资料

文档序号:29125955

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本申请提出了一种芯片结构、芯片组件、成膜方法、纳米孔测序装置及应用。芯片结构包括基底层、第一功能膜层结构和储油结构;第一功能膜层结构设置于基底层的表面,第一功能膜层结构包括呈阵列分布的多个第一结构单元,相邻的第一结构单元彼此连通;储油结构能...
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