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本实用新型属于化学气相沉积设备技术领域，公开一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装。包括圆环状卡盘、支撑件；圆环状卡盘的数量为两个，圆环状卡盘的圆环上均匀设有至少三个固定孔或者圆环状卡盘的圆环均匀径向向外延伸有至少三个凸块并且每个凸块上开...
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