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本实用新型提供了一种用于晶片成膜的可替换型喷头，属于喷头技术领域。该一种用于晶片成膜的可替换型喷头，包括双路径喷头连接通道和可拆式喷头组件。所述双路径喷头连接通道包括主进气管Ⅰ和分进气管以及过滤件，所述分进气管和过滤件设有两个，两个所述分进...
该专利属于天津维普泰克科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津维普泰克科技发展有限公司授权不得商用。

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