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本实用新型涉及半导体集成技术领域，尤其涉及一种原子层沉积装置。所述原子层沉积装置包括作业载台和箱体，作业载台为回转体，作业载台的侧壁上设置有至少两个独立设置的载片腔和用于间隔载片腔的间隔部，载片腔上设置有用于向载片腔内通气的气孔；箱体包括回...
该专利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃有机光电技术研究所有限公司授权不得商用。

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