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本实用新型公开了一种用于真空磁控溅射镀膜靶材的绑定装置，包括支架，支架上转动连接有背板，两个转轴分别定义为第一转轴、第二转轴，背板两侧外壁上设有靶材，背板内设有液体通道，第一转轴及第二转轴上设有分别与液体通道两端连通的盲孔，第一转轴及第二转...
该专利属于深圳市端天科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市端天科技有限公司授权不得商用。

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