下载一种蒸发冷却微结构的制备方法的技术资料

文档序号:29124218

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本发明涉及一种蒸发冷却微结构的制备方法,包括以下步骤:在基片上表面电沉积一层第一金属,形成沉积层;将沉积层的表面进行精密抛磨,同时,保证一定厚度的沉积层;经抛磨后的沉积层表面涂覆一层光刻胶;将基片放置在光刻机载物台上,用曝光掩膜板进行曝光;...
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