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本申请公开了一种柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台，柔性铰链机构可以通过控制至少三个音圈电机的同步升降来实现工作台的高度调节，可以通过处于同一边上的音圈电机升降与其它边上的音圈电机产生高度差来实现工作台的偏转俯仰。一方面采用冗余...
该专利属于佛山市华道超精科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市华道超精科技有限公司授权不得商用。

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