柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台制造技术

本申请公开了一种柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台，柔性铰链机构可以通过控制至少三个音圈电机的同步升降来实现工作台的高度调节，可以通过处于同一边上的音圈电机升降与其它边上的音圈电机产生高度差来实现工作台的偏转俯仰。一方面采用冗余驱动替代并联机构，无需解耦；另一方面，采用音圈电机驱动的柔性铰链组，所述柔性铰链片组分别与所述基座和工作台固定，单一模态，避免了高速运动时的多模态叠加。上述柔性铰链机构可应用在机械导轨式直线平台上，通过偏摆俯仰和高度调节，实现更高的平面度和直线度；还可以配合接触切换式多轴气浮导轨平台，六自由度工件台，满足光刻机的六自由度调整需求。

【技术实现步骤摘要】
柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台
本专利技术涉及高端装备制造
，具体涉及一种柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台。
技术介绍
高速精密运动平台是高端装备的核心基础部件，广泛应用于半导体制造、激光加工、精密检测中。随着技术的发展，对运动平台的定位精度、重复定位精度、直线度、平面度都提出了极高的要求。在先技术专利技术了刚柔耦合运动平台和刚柔耦合气浮平台，通过柔性铰链弹性变形补偿摩擦死区，解决了定位精度和重复定位精度的问题。然而，机械导轨直线平台直线度和平面度受制造和安装误差的影响，只能达到微米级。另外，光刻机平台需要XY大范围运动和三个角度与Z方向的精密微调。在先专利技术只解决了XY大范围精密运动和Z轴旋转微调问题。需要能够调节Z(高度)方向和俯仰偏转的三自由度机构来实现直线度平面度的补偿或者组成六自由度精密运动平台，满足光刻机等高端装备的需求。现有三自由度调节机构主要有能够调节两个偏角和高度方向的刚性平台，主要用于光学仪器中。另一类三自由度调节机构是并联柔性铰链机构，各自由度存在运动耦合，运动控制较为困难。当本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性铰链机构，其特征在于，包括基座、工作台、柔性铰链片组和至少三个音圈电机，所述工作台间隔设于所述基座上方,所述至少三个音圈电机在所述基座和所述工作台之间排成多边形,所述音圈电机包括音圈电机定子和音圈电机动子，所述音圈电机定子固定在所述基座上，所述音圈电机动子与所述工作台连接；所述柔性铰链片组的一端与所述连接部固定，所述柔性铰链片组的另一端与所述工作台固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性铰链机构，其特征在于，包括基座、工作台、柔性铰链片组和至少三个音圈电机，所述工作台间隔设于所述基座上方,所述至少三个音圈电机在所述基座和所述工作台之间排成多边形,所述音圈电机包括音圈电机定子和音圈电机动子，所述音圈电机定子固定在所述基座上，所述音圈电机动子与所述工作台连接；所述柔性铰链片组的一端与所述连接部固定，所述柔性铰链片组的另一端与所述工作台固定。


2.根据权利要求1所述的柔性铰链机构，其特征在于，所述基座包括矩形基座，所述工作台为矩形工作台，所述至少三个音圈电机包括四个音圈电机，所述四个音圈电机的音圈电机定子分别固定于所述矩形基座的四角，所述四个音圈电机的音圈电机定子分别固定于所述矩形工作台的四角。


3.根据权利要求1所述的柔性铰链机构，其特征在于，所述基座包括三角形基座，所述工作台为三角形工作台，所述至少三个音圈电机包括三个音圈电机，所述三个音圈电机的音圈电机定子分别固定于所述三角形基座的三个角，所述三个音圈电机的音圈电机定子分别固定于所述三角形工作台的三个角。


4.根据权利要求1所述的柔性铰链机构，其特征在于，还包括测量装置，所述测量装置包括读数头和光栅，所述光栅固定在所述音圈电机动子上，所述读数头固定在所述基座上。


5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志军，黄建彬，苏丽云，黄瑞锐，
申请(专利权)人：佛山市华道超精科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44