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本发明属于飞秒激光应用技术领域，尤其涉及一种利用飞秒激光在材料基体上加工纳米电极的系统和方法。本发明系统包括长焦高倍物镜、高精度三维运动平台、吹气系统等关键部分。长焦高倍物镜将激光光斑聚焦为亚微米级别，使加工线宽达到百纳米级别，从而实现纳米...
该专利属于清华大学;北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;北京理工大学授权不得商用。

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