温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种清洗设备和清洗方法，该清洗设备包括：第一槽体，用于盛放工艺液体，并承载待清洗件；第二槽体，设置在第一槽体的一侧，用于盛放来自补液装置的工艺液体；以及液体输送装置，分别与第一槽体和第二槽体连接，用于选择性地进行槽间循环模式或槽内...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。