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本实用新型公开一种等离子清洗机,该等离子清洗机包括清洗机本体、第一腔体、升降装置和限位装置。所述第一腔体安装于所述清洗机本体内并用于对待清洗的物料进行清洗,所述升降装置能够带动所述第一腔体做升降运动,所述限位装置用于在所述升降装置将所述第一...该专利属于深圳泰德半导体装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳泰德半导体装备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种等离子清洗机,该等离子清洗机包括清洗机本体、第一腔体、升降装置和限位装置。所述第一腔体安装于所述清洗机本体内并用于对待清洗的物料进行清洗,所述升降装置能够带动所述第一腔体做升降运动,所述限位装置用于在所述升降装置将所述第一...