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本实用新型公开了一种单晶硅腐蚀清洗装置，涉及单晶硅清洗设备技术领域。本实用新型包括保护外壳，保护外壳的一端螺钉连接有传动电机，传动电机的输出端贯穿保护外壳固定连接有传动轴，传动轴的外侧固定有两个十字固定架，两个十字固定架的周侧固定有四个固定...
该专利属于肖亮所有，仅供学习研究参考，未经过肖亮授权不得商用。

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