一种单晶硅腐蚀清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅腐蚀清洗装置，涉及单晶硅清洗设备技术领域。本实用新型专利技术包括保护外壳，保护外壳的一端螺钉连接有传动电机，传动电机的输出端贯穿保护外壳固定连接有传动轴，传动轴的外侧固定有两个十字固定架，两个十字固定架的周侧固定有四个固定机构，四个固定机构的内部均安装有单晶硅体，固定机构包括U形固定架，U形固定架的两端均滑动连接有两个限位杆。本实用新型专利技术通过启动传动电机带动单晶硅体在保护外壳内部的液体里进行转动，使得装置能够均匀的对单晶硅体进行清洗，从而大大的提升装置的清洗效果，通过设置固定机构能够较为简单的对单晶硅体进行安装和拆卸，从而为操作人员带来极大的便利。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅腐蚀清洗装置
本技术属于单晶硅清洗设备
，特别是涉及一种单晶硅腐蚀清洗装置。
技术介绍
单晶硅是硅的单晶体，禁带宽度1.11eV，具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上，用于制造半导体器件、太阳能电池、芯片等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，是人类已得到最纯的物质，单晶硅片生产过程中必须经过清洗设备清洗，避免因污染导致器件失效现象发生，使用清洗设备清洗的目的在于清除表面有机物或无机物污染杂质，但现有的清洗设备对单晶硅进行清洗时，清洗的不均匀，导致装置的清洗效果较差，且对单晶硅体进行安装和拆卸时工序较为繁琐，为操作人员带来极大的不便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅腐蚀清洗装置，以解决了现有的问题：现有的清洗设备对单晶硅进行清洗时，清洗的不均匀，导致装置的清洗效果较差。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种单晶硅腐蚀清洗装置，包括保护外壳，所述保护外壳的一端螺钉连接有传动电机，所述传动电机的输出端贯穿保护外壳固定连接有传动轴，所述传动轴的外侧固定有两个十字固定架，两个所述十字固定架的周侧固定有四个固定机构，四个所述固定机构的内部均安装有单晶硅体；所述固定机构包括U形固定架，所述U形固定架的两端均滑动连接有两个限位杆，两个所述限位杆位于U形固定架内部的一端固定有滑动卡板，所述滑动卡板包括限位挡板，所述限位挡板远离限位杆的一端固定有限位夹板，所述限位夹板的上端设置有导向坡，所述U形固定架和滑动卡板之间装配有多个回力弹簧，两个所述限位杆位于U形固定架外侧的一端固定有限位板。本技术的一种单晶硅腐蚀清洗装置，所述保护外壳一端的底端固定有出液管，所述出液管的中间位置安装有阀门。进一步地，所述保护外壳的下端固定有四个承重杆。进一步地，所述限位板远离限位杆一端的中间位置固定有把手，通过设置把手能够更好的对限位板进行拉动。进一步地，所述U形固定架的上端开设有多个限位滑槽，所述限位挡板的下端固定有限位滑块，所述限位滑块滑动连接在限位滑槽的内部。进一步地，所述U形固定架的内部且位于多个限位滑槽之间开设有分水槽。本技术具有以下有益效果：1、本技术通过启动传动电机带动单晶硅体在保护外壳内部的液体里进行转动，使得装置能够均匀的对单晶硅体进行清洗，从而大大的提升装置的清洗效果。2、本技术通过设置固定机构能够较为简单的对单晶硅体进行安装和拆卸，从而为操作人员带来极大的便利。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一种单晶硅腐蚀清洗装置的整体结构示意图；图2为本技术一种单晶硅腐蚀清洗装置的局部剖切结构示意图；图3为本技术一种单晶硅腐蚀清洗装置的局部结构示意图；图4为本技术一种单晶硅腐蚀清洗装置固定机构的结构示意图；图5为本技术一种单晶硅腐蚀清洗装置滑动卡板的结构示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、保护外壳；2、承重杆；3、出液管；4、传动电机；5、传动轴；6、十字固定架；7、固定机构；8、单晶硅体；9、阀门；10、U形固定架；11、滑动卡板；12、限位滑块；13、限位杆；14、回力弹簧；15、限位板；16、把手；17、限位滑槽；18、分水槽；19、限位挡板；20、限位夹板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5所示，本技术为一种单晶硅腐蚀清洗装置，包括保护外壳1，保护外壳1的一端螺钉连接有传动电机4，传动电机4的输出端贯穿保护外壳1固定连接有传动轴5，传动轴5的外侧固定有两个十字固定架6，两个十字固定架6的周侧固定有四个固定机构7，四个固定机构7的内部均安装有单晶硅体8；在此，保护外壳1一端的底端固定有出液管3，出液管3的中间位置安装有阀门9；具体的，保护外壳1内部的底端设置有导液坡；详细的，保护外壳1内部的一端设置有定位槽，传动轴5的一端转动连接在定位槽的内部；可以理解的，保护外壳1的下端固定有四个承重杆2；进一步地，固定机构7包括U形固定架10，U形固定架10的两端均滑动连接有两个限位杆13，两个限位杆13位于U形固定架10内部的一端固定有滑动卡板11，滑动卡板11包括限位挡板19，限位挡板19远离限位杆13的一端固定有限位夹板20，限位夹板20的上端设置有导向坡，U形固定架10和滑动卡板11之间装配有多个回力弹簧14，两个限位杆13位于U形固定架10外侧的一端固定有限位板15；在此，限位板15远离限位杆13一端的中间位置固定有把手16，通过设置把手16能够更好的对限位板15进行拉动；具体的，U形固定架10的上端开设有多个限位滑槽17，限位挡板19的下端固定有限位滑块12，限位滑块12滑动连接在限位滑槽17的内部；详细的，U形固定架10的内部且位于多个限位滑槽17之间开设有分水槽18。本实施例的一个具体应用为：在使用时将单晶硅体8放入固定机构7的内部，当单晶硅体8和滑动卡板11接触时，因为限位夹板20的上端设置有导向坡，且滑动卡板11和U形固定架10通过滑动连接，单晶硅体8下移时会带动滑动卡板11沿水平方向进行滑动，直至单晶硅体8放置在U形固定架10内部的底端，此时滑动卡板11会受到回力弹簧14施加的力向靠近单晶硅体8的方向进行滑动，将单晶硅体8固定在固定机构7的内部；然后通过装置导线电性连接的外部电源将装置启动，传动电机4启动后会通过传动轴5带动十字固定架6在保护外壳1的内部进行转动，十字固定架6转动时会带动固定机构7一起进行转动，固定机构7转动时会带动单晶硅体8在保护外壳1内部的液体里进行转动，使得装置能够简单有效的对单晶硅体8进行清洗；清洗完成后将阀门9打开，使保护外壳1内部的液体通过出液管3排出，然后拉动把手16带动限位板15进行移动，限位板15移动时会通过限位杆13带动滑动卡板11一起进行移动，直至滑动卡板11和U形固定架10内壁的一端贴合，使滑动卡板11和单晶硅体8分离，然后便可以将单晶硅体8从固定机构7的内部取出，从而能够较为简单的对单晶硅体8进行安装和拆卸，为操作人员带来极大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅腐蚀清洗装置，其特征在于：包括保护外壳(1)，所述保护外壳(1)的一端螺钉连接有传动电机(4)，所述传动电机(4)的输出端贯穿保护外壳(1)固定连接有传动轴(5)，所述传动轴(5)的外侧固定有两个十字固定架(6)，两个所述十字固定架(6)的周侧固定有四个固定机构(7)，四个所述固定机构(7)的内部均安装有单晶硅体(8)；/n所述固定机构(7)包括U形固定架(10)，所述U形固定架(10)的两端均滑动连接有两个限位杆(13)，两个所述限位杆(13)位于U形固定架(10)内部的一端固定有滑动卡板(11)，所述滑动卡板(11)包括限位挡板(19)，所述限位挡板(19)远离限位杆(13)的一端固定有限位夹板(20)，所述限位夹板(20)的上端设置有导向坡，所述U形固定架(10)和滑动卡板(11)之间装配有多个回力弹簧(14)，两个所述限位杆(13)位于U形固定架(10)外侧的一端固定有限位板(15)。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅腐蚀清洗装置，其特征在于：包括保护外壳(1)，所述保护外壳(1)的一端螺钉连接有传动电机(4)，所述传动电机(4)的输出端贯穿保护外壳(1)固定连接有传动轴(5)，所述传动轴(5)的外侧固定有两个十字固定架(6)，两个所述十字固定架(6)的周侧固定有四个固定机构(7)，四个所述固定机构(7)的内部均安装有单晶硅体(8)；
所述固定机构(7)包括U形固定架(10)，所述U形固定架(10)的两端均滑动连接有两个限位杆(13)，两个所述限位杆(13)位于U形固定架(10)内部的一端固定有滑动卡板(11)，所述滑动卡板(11)包括限位挡板(19)，所述限位挡板(19)远离限位杆(13)的一端固定有限位夹板(20)，所述限位夹板(20)的上端设置有导向坡，所述U形固定架(10)和滑动卡板(11)之间装配有多个回力弹簧(14)，两个所述限位杆(13)位于U形固定架(10)外侧的一端固定有限位板(15)。


...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖亮，
申请(专利权)人：肖亮，
类型：新型
国别省市：陕西;61