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基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置制造方法及图纸
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下载基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置的技术资料
文档序号:29105087
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基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置,包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵、衰荡腔、激光器、主控制单元、激光控制单元和波长校准单元;一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接,形成过滤通道;三级过滤器出气端连接真空泵进气端,真空泵...
该专利属于内蒙古光能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古光能科技有限公司授权不得商用。
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