基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置制造方法及图纸

基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置，包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵、衰荡腔、激光器、主控制单元、激光控制单元和波长校准单元；一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接，形成过滤通道；三级过滤器出气端连接真空泵进气端，真空泵出气端连接衰荡腔的进气端；衰荡腔的出气端设置针阀；衰荡腔一侧设置有用于检测光信号的探测器；探测器与主控制单元信号传递连接；主控制单元控制连接激光控制单元，激光控制单元控制连接激光器；激光控制单元控制连接波长校准单元，波长校准单元控制连接激光器。本实用新型专利技术，解决了现有空气中气体的检测技术精度不高，解决了光腔衰荡光谱技术的装置无法监测空气中气体的问题。

【技术实现步骤摘要】
基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置
本技术涉及气体浓度检测领域，尤其涉及基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置。
技术介绍
随着社会工业化和城市化进程的发展，人类在生产和生活过程中产生的大量废气烟尘等排入大气，严重影响了大气环境的质量。在人口稠密的城市和工业地区，工业废气、燃烧废气、汽车尾气等已成为城市空气污染的“罪魁祸首”，特别是这些气体中的微量有毒有害成分，严重影响了人类的生活质量和身体健康。因此在社会高速发展时期，对大气检测的要求也越来越高，大气质量监测已成为环境监测的重要内容之一。在各种工农业过程中，类似的微量气体检测也是必要的。如脱硝工艺中氨的监测，这种对原料气的监测和控制，可以提高生产效率减小生产成本；如通过监测大棚内CO2含量来控制不同肥料的添加。如在半导体产业，通过控制和监测AMC来提高制程良率。以脱硝工艺中氨的监测为例，传统的烟气中氨测量方式有稀释取样法、激光原位测量法、激光抽取式测量等。稀释采样法存在工序多、有浓度损失、无参考，测量值不可考证等缺点，而且设备较为庞大，不适合搬动。激光原位测量方法容易受到烟尘的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置，其特征在于，包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵、衰荡腔、激光器、主控制单元、激光控制单元和波长校准单元；/n一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接，形成过滤通道；三级过滤器出气端连接真空泵进气端，真空泵出气端连接衰荡腔的进气端；衰荡腔的出气端设置针阀；衰荡腔一侧设置有用于检测光信号的探测器；探测器与主控制单元信号传递连接；/n主控制单元控制连接激光控制单元，激光控制单元控制连接激光器；激光控制单元控制连接波长校准单元，波长校准单元控制连接激光器；/n激光器设置在衰荡腔一侧。/n

【技术特征摘要】
1.基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置，其特征在于，包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵、衰荡腔、激光器、主控制单元、激光控制单元和波长校准单元；
一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接，形成过滤通道；三级过滤器出气端连接真空泵进气端，真空泵出气端连接衰荡腔的进气端；衰荡腔的出气端设置针阀；衰荡腔一侧设置有用于检测光信号的探测器；探测器与主控制单元信号传递连接；
主控制单元控制连接激光控制单元，激光控制单元控制连接激光器；激光控制单元控制连接波长校准单元，波长校准单元控制连接激光器；
激光器设置在衰荡腔一...

【专利技术属性】
技术研发人员：任秉乾，阎文斌，
申请(专利权)人：内蒙古光能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15