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压电设备及MEMS设备制造技术
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文档序号:29072145
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提供一种压电设备及MEMS设备,能够实现小型化。压电设备具备:第一基板,包括第一面,所述第一面配置有压电元件以及连接于所述压电元件的第一电极的;第二基板,包括第二面,所述第二面配置有连接于控制电路的第二电极;以及第三基板,配置在所述第一基板...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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