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基板处理方法以及基板处理装置制造方法及图纸
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下载基板处理方法以及基板处理装置的技术资料
文档序号:29071921
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基板处理方法及装置,方法包括:液膜形成工序,在基板的上表面形成处理液的液膜;液膜保温工序,将基板的整体加热至比处理液的沸点更低的温度以对液膜进行保温;气相层形成工序,一边执行液膜保温工序,一边从照射单元朝设定在基板的上表面中央部的照射区域照...
该专利属于株式会社斯库林集团所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。
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