下载一种光刻机机架金属涂层烘干装置的技术资料

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本实用新型公开了一种光刻机机架金属涂层烘干装置,包括:壳体,所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆,所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆,所述第一丝杆和第二丝杆以壳体的中心点为对称中心相对称,所述第一丝杆的顶部贯穿壳体的顶部,所述...
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