温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种光刻机机架金属涂层烘干装置,包括:壳体,所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆,所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆,所述第一丝杆和第二丝杆以壳体的中心点为对称中心相对称,所述第一丝杆的顶部贯穿壳体的顶部,所述...该专利属于苏州航菱微精密组件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州航菱微精密组件有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种光刻机机架金属涂层烘干装置,包括:壳体,所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆,所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆,所述第一丝杆和第二丝杆以壳体的中心点为对称中心相对称,所述第一丝杆的顶部贯穿壳体的顶部,所述...