一种光刻机机架金属涂层烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻机机架金属涂层烘干装置，包括：壳体，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆，所述第一丝杆和第二丝杆以壳体的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆的顶部贯穿壳体的顶部，所述壳体的顶部安装有第一电机；生产时，需要烘干光刻机架零件，通过第一电机带动第一丝杆和第二丝杆转动，调节支架的上下位置，将光刻机架零件置于支架的转轴和导热管上方，调节支架的位置，直到光刻机架零件位于两个宽型管中间，烘干时，使得光刻机架零件的上表面和下表面接触到的热量接近相等，从而防止光刻机架零件的上下表面因不均热而形变。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机机架金属涂层烘干装置
本技术涉及光刻机
，具体为一种光刻机机架金属涂层烘干装置。
技术介绍
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的机架零件生产时，需要对其涂层进行烘干，一般的，人工手动烘干不精确，尤其是人工难以对光刻机的机架零件的上下表面同时进行烘干受热操作，容易导致变形。为此，提出一种光刻机机架金属涂层烘干装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光刻机机架金属涂层烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻机机架金属涂层烘干装置，包括：壳体，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆，所述第一丝杆和第二丝杆以壳体的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆的顶部贯穿壳体的顶部，所述壳体的顶部安装有第一电机，所述第一电机的底部输出轴焊接于第一丝杆的顶端，所述第一丝杆的外侧壁焊接有主动轮，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于，包括：/n壳体（1），所述壳体（1）的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆（7），所述壳体（1）的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆（10），所述第一丝杆（7）和第二丝杆（10）以壳体（1）的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆（7）的顶部贯穿壳体（1）的顶部，所述壳体（1）的顶部安装有第一电机（6），所述第一电机（6）的底部输出轴焊接于第一丝杆（7）的顶端，所述第一丝杆（7）的外侧壁焊接有主动轮（8），所述主动轮（8）的外侧壁通过皮带传动连接有从动轮（9），所述第二丝杆（10）的外侧壁与从动轮（9）固定连接，所述壳体（1）的内侧壁焊接有数量为两个的以...

【技术特征摘要】
1.一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于，包括：
壳体（1），所述壳体（1）的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆（7），所述壳体（1）的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆（10），所述第一丝杆（7）和第二丝杆（10）以壳体（1）的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆（7）的顶部贯穿壳体（1）的顶部，所述壳体（1）的顶部安装有第一电机（6），所述第一电机（6）的底部输出轴焊接于第一丝杆（7）的顶端，所述第一丝杆（7）的外侧壁焊接有主动轮（8），所述主动轮（8）的外侧壁通过皮带传动连接有从动轮（9），所述第二丝杆（10）的外侧壁与从动轮（9）固定连接，所述壳体（1）的内侧壁焊接有数量为两个的以壳体（1）的中心点为对称中心对称的滑杆（11），所述壳体（1）的内侧壁滑动连接有数量为两个的以壳体（1）的中心点为对称中心对称的支架（12）；
所述壳体（1）的顶部和底部均安装有以壳体（1）的中心点为对称中心对称的热风机（19），所述热风机（19）的输出口连通有宽型管（20），所述宽型管（20）远离热风机（19）的一端贯穿壳体（1）延伸至壳体（1）的内部，所述宽型管（20）的一侧连通有连管（21）。


2.根据权利要求1所述的一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于：所述壳体（1）的一侧开设有入口槽（3），所述壳体（1）远离入口槽（3）的一侧开设有出口槽（4），所述壳体（1）的两侧均粘接有隔热...

【专利技术属性】
技术研发人员：何平，胡志华，
申请(专利权)人：苏州航菱微精密组件有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32