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本发明涉及一种探针卡的制造方法及使用其制造的探针卡，所述制造方法包括：在基础基板的表面形成临时层并在所述临时层的表面形成掩蔽材料层，之后进行图案化而形成开口区域，向所述开口区域填充导电性物质，并通过蚀刻工艺将除所述导电性物质之外的所述掩蔽材...
该专利属于普因特工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普因特工程有限公司授权不得商用。

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