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层叠装置和层叠体的制造方法制造方法及图纸
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下载层叠装置和层叠体的制造方法的技术资料
文档序号:29064792
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本发明提供能够在消除片材的翘曲或挠曲的基础上层叠该片材的层叠装置和层叠体的制造方法。层叠用输送保持件(60)通过真空吸附保持在绝缘膜(106)上层叠有金属层(104)的片(L1~L5),并将其输送至层叠台(80)。保持件用带电器(70)朝向...
该专利属于日机装株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日机装株式会社授权不得商用。
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