下载高密度三维可编程存储器的制备方法的技术资料

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高密度三维可编程存储器的制备方法,涉及存储器的制备技术。本发明包括下述步骤:1)形成基础结构体;2)对基础结构体开槽;3)在分割槽的内壁逐层设置预设的存储器结构所需的各存储介质层;4)在分割槽中填充核心介质,形成核心介质层;5)采用掩膜下刻...
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