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本发明公开了一种外延设备的气体供应方法及装置，支撑组件的壳体、底座和控制盒连接，第一加热组件的多个第一安装板设置在壳体的第一安装槽内，第一支撑板和多个第一安装板连接，多个第一加热电阻分别设置在多个第一安装板内，第二加热组件的多个第二安装板设...
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