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本发明公开了一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，属于生产成型设备技术领域，包括机架、偏心轮，在所述偏心轮上部设有对称的挡板，在所述挡板侧面上下分别设有上支撑杆、下支撑杆，在所述上支撑杆、下支撑杆端部分别设有张力弹簧、限位块，套筒组件套接在上支...
该专利属于山东芯源微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东芯源微电子有限公司授权不得商用。

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