下载一种用于ESD防护电路的栅极接地场效应管及其制备方法的技术资料

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本发明提出了一种用于ESD防护电路的栅极接地场效应管及其制备方法。该栅极接地场效应管的漏端包括靠近所述栅极的第一N型重掺区和远离所述栅极的第二N型重掺区,所述第一N型重掺区和所述第二N型重掺区之间设有氧化物隔离,所述氧化物隔离上设有多晶硅电...
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