下载一种掺Al氧化镓X射线探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:29043926

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本发明公开了一种掺Al氧化镓X射线探测器及其制备方法,掺Al氧化镓X射线探测器的制备方法包括步骤:提供掺Al氧化镓单晶;对所述掺Al氧化镓单晶进行切割处理得到单晶基体片;对所述单晶基体片进行退火处理得到退火的单晶基体片;在所述退火的单晶基体...
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