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本发明提供了一种高品质晶体培植类关键工艺环境振动控制技术分析方法，包括：针对高品质晶体培植关键生产工艺开展内部及外部环境振动测试并对测试数据进行归类整理，为精细化数值仿真分析提供数据支撑，为主动控制系统及工艺技术分析标准提供关键控制变量；进...
该专利属于国机集团科学技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国机集团科学技术研究院有限公司授权不得商用。

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