下载一种光器件的检漏方法的技术资料

文档序号:29041700

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本发明提供一种光器件的检漏方法,包括:对待检漏的光器件充氦气;将待检漏的光器件放入氦质谱检漏仪中检测漏率并记下漏率;判断待检漏的光器件的漏率是否大于等于预定值,当待检漏的光器件的漏率小于预定值时,则判定待检漏的光器件检漏通过,当待检漏的光器...
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