一种光器件的检漏方法技术

技术编号:29041700 阅读:24 留言:0更新日期:2021-06-26 05:51
本发明专利技术提供一种光器件的检漏方法,包括:对待检漏的光器件充氦气;将待检漏的光器件放入氦质谱检漏仪中检测漏率并记下漏率;判断待检漏的光器件的漏率是否大于等于预定值,当待检漏的光器件的漏率小于预定值时,则判定待检漏的光器件检漏通过,当待检漏的光器件的漏率大于等于预定值时,则判定待检漏的光器件检漏不通过;其中,预定值为同一光器件在不封盖时在相同条件下测得的漏率值。本发明专利技术提供中光器件的检漏方法相较于传统的需要进行细漏和粗漏两次检测的检漏方式而言,只需要一次充氦气和一次检测就能将漏气的光器件检测出来,工艺流程更简单,效率更高。效率更高。效率更高。

【技术实现步骤摘要】
一种光器件的检漏方法


[0001]本专利技术涉及光通信
,特别涉及一种光器件的检漏方法。

技术介绍

[0002]在数据通信和数据传输领域,需要用到大量的光发射器件和光接器件。光发射器件将电信号转换成光信号然后通过光纤将数据发送到接收端,光接收器件再将接收到的光信号转换成电信号完成数据的传输。通常的光发射/接收器件包括光学元件、电子元件、用来封装这些光学电子元件的管壳和盖板四部分组成。图1是一个典型的100G TOSA(Transmitter Optical Subassembly,光发射次模块)的内部结构图,包括适配器、套筒、棱镜、光复用组件(MUX)、温度控制器(TEC)、透镜、激光器、驱动芯片(IC)、电容、管壳和盖板等元件。要使这些光学元件、电子元件在复杂的环境下仍旧能够长期稳定地工作,需要将这些元器件密封在一个陶瓷管壳里,使陶瓷管壳内部的光学元件、电子元件和外部的复杂环境隔离。而如何确认陶瓷管壳密封是否良好,密封后的陶瓷管壳是否漏气,就需要对密封后的光器件进行检漏测试。
[0003]然而,现有的检漏方法并不适用于焊接有适配本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光器件的检漏方法,其特征在于,包括:对待检漏的光器件充氦气;将待检漏的光器件放入氦质谱检漏仪中检测漏率并记下漏率;判断待检漏的光器件的漏率是否大于等于预定值,当待检漏的光器件的漏率小于预定值时,则判定待检漏的光器件检漏通过,当待检漏的光器件的漏率大于等于预定值时,则判定待检漏的光器件检漏不通过;其中,预定值为同一光器件在不封盖时在相同条件下测得的漏率值。2.如权利要求1所述的光器件的检漏方法,其特征在于,在将待检漏的光器件放入氦质谱检漏仪中检测光器件的漏率之前,先将充完氦气的光器件放到离子风机前吹气。3.如权利要求2所述的光器件的检漏方法,其特征在于,将充完氦气的光器件放到离子风机前吹气的时长为20分钟。4.如权利要求1所述的光器件的检漏方法,其特征在于,在对待检漏的光器件充氦气的过程中,充气的压力为0.5MPa,充气时间为2小时。5.如权利要求1所述的光器件的检漏方法,其特征在于,所述预定值为5.0*10
‑9Pa.m3/s。6.一种光器件的检漏方法,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐永正
申请(专利权)人:武汉英飞光创科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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