下载异面结构硅片及其制备方法、太阳电池及其制备方法的技术资料

文档序号:29040694

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本发明公开了一种异面结构硅片及其制备方法、太阳电池及其制备方法,所述异面结构硅片的制备方法包括:S1、采用碱刻蚀制绒工艺,在硅片第一表面上形成正金字塔结构绒面;S2、采用氧化工艺,在硅片第一表面上形成氧化层;S3、采用激光消融工艺,对氧化层...
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