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布线电路基板的制造方法和布线电路基板片技术
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文档序号:29039600
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本发明提供布线电路基板的制造方法和布线电路基板片。在形成导体图案(5)的工序中,一边将包含第4遮光标记(43)的第4掩模(39)和包含第6遮光标记(46)的第5掩模(40)沿长度方向依次配置,一边对光致抗蚀层(49)进行多次曝光,并进行显影...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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