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本发明涉及碳化硅反射镜改性加工与检测技术领域，具体的来讲是一种碳化硅反射镜改性加工与检测控制系统及方法，通过加工单元对碳化硅反射镜整体打磨，抛光单元的粗抛光、细抛光以及面型改进单元利用磁控溅射镀膜完成碳化硅反射镜的改性加工，每一步骤结束后启...
该专利属于南京施密特光学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京施密特光学仪器有限公司授权不得商用。

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