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本实用新型公开了一种用于碳化硅长晶热场的气流过滤组件，包括坩埚、多孔石墨板、多孔石墨颗粒和底部石墨孔板，所述坩埚的内壁上设有环状的凸台，所述底部石墨孔板位于凸台的上端，所述底部石墨孔板上均匀设有导流孔，所述底部石墨孔板的上端铺有多孔石墨颗粒...
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