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一种降低氮化铝的表面氧化物生成的方法与设备。所述设备具有沉积腔体、冷却腔体以及冷却加载互锁腔体。在物理气相沉积制程中，基板于沉积腔体中受到氮化铝的沉积，并在真空环境下于冷却腔体及冷却加载互锁腔体中进行冷却，以避免高温的氮化铝镀膜基板暴露于大...
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