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一种CVD用陶瓷块可拆卸式遮挡框架制造技术
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文档序号:28990450
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本实用新型公开了一种CVD用陶瓷块可拆卸式遮挡框架,包括有遮挡框架本体、基座本体和间隙,遮挡框架本体在朝向间隙的表面设有凹槽,其内分别设置有陶瓷块和L形锁紧块,L形锁紧块的二个内侧面分别对应贴靠在陶瓷块的相邻二个外侧面上,遮挡框架本体的外侧...
该专利属于合肥微睿光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥微睿光电科技有限公司授权不得商用。
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