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本实用新型涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种新型半导体芯片研磨装置,包括机架,机架内侧顶端固定连接有液压伸缩轴,且液压伸缩轴下端固定连接有连接板,连接板上端左右两侧均贯穿有导向杆,且连接板下端左右两侧均固定连接有缓冲弹簧,连接板下端中部...该专利属于无锡嘉翌晗机电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡嘉翌晗机电科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种新型半导体芯片研磨装置,包括机架,机架内侧顶端固定连接有液压伸缩轴,且液压伸缩轴下端固定连接有连接板,连接板上端左右两侧均贯穿有导向杆,且连接板下端左右两侧均固定连接有缓冲弹簧,连接板下端中部...