下载一种分时复用的绝对式时栅直线位移传感器的技术资料

文档序号:28972963

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本发明公开了一种分时复用的绝对式时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,动尺包括动尺基体和感应电极Ⅰ、感应电极Ⅱ、反射电极,感应电极Ⅰ、Ⅱ为三测头的结构形式;定尺包括定尺基体和激励电极Ⅰ、激励电极Ⅱ、接收电极,激励电极Ⅰ的A...
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