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本发明公开了一种真空镀膜系统，包括固定部和与固定部形成开合的活动部，活动部内部设置用于承载靶材的背板，背板连接电极的阴极，所述固定部内部设置基片载体，所述基片载体与背板平行设置，所述背板和基片载体之间设置隔离磁场发生器，所述隔离磁场发生器用...
该专利属于湖南匡楚科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南匡楚科技有限公司授权不得商用。

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