下载一种晶圆光刻显影用打孔机的技术资料

文档序号:28959613

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本发明公开了一种晶圆光刻显影用打孔机,其结构包括机体、支撑装置、龙门架、打孔器,支撑装置水平安装在机体顶部中心位置,龙门架垂直焊接在机体靠背面上表面位置,打孔器设置在龙门架中部,由于芯片的宽度比支撑板的宽度大时,芯片靠左右两端底面受到的支撑...
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