下载一种多晶硅锭杂质层截除装置的技术资料

文档序号:28959611

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本发明公开了一种多晶硅锭杂质层截除装置,属于多晶硅锭除杂技术领域,其技术方案要点是,包括夹具,用于夹持多晶硅锭;切割机构,用于对多晶硅锭上的杂质层进行切割;夹具可拆卸设置在切割机构的一侧,且夹具可沿着切割机构的前后方向进行滑动;其中,夹具包...
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