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本发明提供了一种等离子体反应器及其气体喷嘴，所述等离子体反应器具有内衬，所述气体喷嘴包括：插入部，所述插入部的第一端用于插入固定在管道的气体出口，与所述第一端相对的第二端用于置于所述管道外部；出气部，所述出气部的一侧表面具有安装槽，所述安装...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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