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本发明涉及半导体集成电路装备技术领域，公开一种磁浮重力补偿器。磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括动子磁钢组件和定子磁钢组件；动子磁钢组件包括动子磁钢部件；定子磁钢组件的第一定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第一磁浮补偿力；定子磁钢组件的第...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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