一种磁浮重力补偿器制造技术

本发明专利技术涉及半导体集成电路装备技术领域，公开一种磁浮重力补偿器。磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括动子磁钢组件和定子磁钢组件；动子磁钢组件包括动子磁钢部件；定子磁钢组件的第一定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第一磁浮补偿力；定子磁钢组件的第二定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第二磁浮补偿力；第一磁浮补偿力和第二磁浮补偿力方向相同，动子磁钢部件能够由基准点沿Z轴的正方向或反方向移动产生位移量，基准点的位置为动子磁钢部件、第一定子磁钢部件和第二定子磁钢部件的水平中心线在Z轴重合的位置；第一磁浮补偿力随着位移量的增大而增大，第二磁浮补偿力随着位移量的增大而减小。

【技术实现步骤摘要】
一种磁浮重力补偿器
本专利技术涉及半导体集成电路装备
，尤其涉及一种磁浮重力补偿器。
技术介绍
磁悬浮技术具有非接触、无摩擦、无磨损等特点，在半导体集成电路装备领域内具有广阔的应用前景。随着生产产率要求的不断提升，运动台的运行速度、加速度也随之提高，在Z轴运动的执行器始终需要输出一个恒定的磁浮补偿力来抵消运动台本身质量及负载的重力作用，执行器持续工作产生的热量会引起温升和机械结构的形变，从而影响运动台的定位精度。为此业界提出了磁浮重力补偿技术，用来克服运动台的重力作用，大大减小Z轴运动执行器的发热情况。但是现有技术中，执行器在运动过程中，磁浮补偿力的输出大小波动大，导致执行器的运动精度低，无法满足生产需求。基于此，亟需一种磁浮重力补偿器，以解决上述存在的问题。
技术实现思路
基于以上所述，本专利技术的目的在于提供一种磁浮重力补偿器，实现了降低动子磁钢组件在全行程范围内的总磁浮补偿力波动值，提高动子磁钢组件的运动精度，优化生产工艺；减小定子磁钢组件与动子磁钢组件之间的间隙，提高定子磁钢组件与动子磁钢组件之间的磁力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁浮重力补偿器，其特征在于，包括至少一个磁浮单元，所述磁浮单元包括动子磁钢组件(1)和定子磁钢组件(2)；/n所述动子磁钢组件(1)包括动子磁钢部件(11)；/n所述定子磁钢组件(2)设置于所述动子磁钢组件(1)一侧，所述定子磁钢组件(2)包括第一定子磁钢部件(21)和第二定子磁钢部件(22)，所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)的Z轴方向尺寸均大于所述动子磁钢部件(11)的Z轴方向尺寸；/n所述第一定子磁钢部件(21)对所述动子磁钢部件(11)产生第一磁浮补偿力；所述第二定子磁钢部件(22)对所述动子磁钢部件(11)产生第二磁浮补偿力；/n所述第一磁浮补偿力和所...

【技术特征摘要】
1.一种磁浮重力补偿器，其特征在于，包括至少一个磁浮单元，所述磁浮单元包括动子磁钢组件(1)和定子磁钢组件(2)；
所述动子磁钢组件(1)包括动子磁钢部件(11)；
所述定子磁钢组件(2)设置于所述动子磁钢组件(1)一侧，所述定子磁钢组件(2)包括第一定子磁钢部件(21)和第二定子磁钢部件(22)，所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)的Z轴方向尺寸均大于所述动子磁钢部件(11)的Z轴方向尺寸；
所述第一定子磁钢部件(21)对所述动子磁钢部件(11)产生第一磁浮补偿力；所述第二定子磁钢部件(22)对所述动子磁钢部件(11)产生第二磁浮补偿力；
所述第一磁浮补偿力和所述第二磁浮补偿力方向相同，所述动子磁钢部件(11)能够由基准点沿Z轴的正方向或反方向移动产生位移量，所述基准点的位置为所述动子磁钢部件(11)、所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)的水平中心线在Z轴重合的位置；
所述第一磁浮补偿力随着所述位移量的增大而增大，所述第二磁浮补偿力随着所述位移量的增大而减小。


2.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器，其特征在于，所述第一定子磁钢部件(21)设置于所述动子磁钢部件(11)的一侧，所述第二定子磁钢部件(22)设置于所述第一定子磁钢部件(21)的远离所述动子磁钢部件(11)的一侧；或
所述第二定子磁钢部件(22)设置于所述动子磁钢部件(11)的一侧，所述第一定子磁钢部件(21)设置于所述第二定子磁钢部件(22)的远离所述动子磁钢部件(11)的一侧。


3.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器，其特征在于，所述动子磁钢组件(1)和所述定子磁钢组件(2)之间的间隙为1mm-3mm。


4.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器，其特征在于，所述第二定子磁钢部件(22)沿Z轴方向由上到下依次包括第一子磁钢(221)和第二子磁钢(222)，所述第一子磁钢(221)与所述动子磁钢部件(11)的充磁方向相同，所述第一子磁钢(221)和所述第二子磁钢(222)的充磁方向相反。


5.根据权利要求4所述的磁浮重力补偿器，其特征在于，
当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为由所述动子磁钢部件(11)指向所述第一定子磁钢部件(21)时，所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为Z轴方向向下；
当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为由所述第一定子磁钢部件(21)指向所述动子磁钢部件(11)时，所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为Z轴方向向上；
当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为Z轴方向向上时，所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为由所述第一定子磁钢部件(21)指向所述动子磁钢部件(11)；
当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为Z轴方向向下时，所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为由所述动子磁钢部件(11)指向所述第一定子磁钢部件(21)。

【专利技术属性】
技术研发人员：胡兵，龚威，蒋贇，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31